一场展会，看见自主可控“芯”力量

　　原标题：三天超13万人次关注半导体装备的硬核实力 

　　一场展会，看见自主可控“芯”力量

　　9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）在无锡太湖国际博览中心落下帷幕。三天展会期间，这里始终人潮涌动、热气蒸腾，据主办方统计，累计观展人数达到13.56万人次。这场行业盛会，已成为见证中国半导体装备硬核力量的一扇窗口。采访发现，在全球半导体供应链加速重组的时代背景下，这里展出的每一台设备、每一种材料、每一个零部件，都承载着一个共同的命题：自主可控，究竟走到了哪一步。

　　在吉佳蓝展台里，摆放着两台主力设备模型：纳米压印设备和刻蚀设备，这是半导体前道工艺中的关键装备，也是吉佳蓝无锡工厂的“独家秘笈”。更让人振奋的是，一年前，它们还是展台上的“样品”；一年后，它们已是不折不扣的“量产商品”。“14台设备出货、7000万元订单，这是吉佳蓝落地无锡第一年的成绩单。”吉佳蓝中国总部副总经理王琦告诉记者，数字背后印证了两个质变：一是有客户“下单”，说明国产设备的可靠性已得到市场验证；二是两大设备的零部件国产化率已提升至90%，而且其中40%来自无锡本地，足见无锡半导体产业链的配套能力和协同效应。

　　位于无锡高新区的吉佳蓝中国总部，是中国唯一一家同时掌握纳米压印光刻设备和干法刻蚀设备的公司，还能配套供应压印胶水和模具材料，可提供“压印+刻蚀+材料”全链条服务。从“一年前样品”到“一年后商品”，吉佳蓝一年来的加速发展，正是当前半导体设备国产化的真实写照：从“能做出来”到“能量产、能被客户买走”，中国设备企业正在跨越最难的量产门槛。

　　“化工做到顶了，半导体风口来了，我们果断切入。”在微特科半导体展台现场，企业董事长杨仁彬开门见山。展区内摆放着产品三件套——真空泵、尾气处理设备、温控设备，不时吸引半导体设备整机厂的工程师驻足询问。“虽然它们属于半导体附属设备，却直接关系到晶圆制造的良率和稳定性，没有它们，刻蚀机、CVD设备就无法稳定运行。”杨仁彬介绍，以前这三个产品基本被进口垄断，“我们进入不算早，国内已经有点‘卷’了，但我们有在化工领域积累的可靠性技术和对严苛工况的理解，这恰恰是半导体设备最需要的。”

　　微特科的母公司威鹏晟是化工领域的龙头，其产品干式螺杆真空泵市场占有率超过60%，客户包括中国石化、中国石油、万华化学等行业巨头。五六年前公司引进韩国先进技术，向半导体领域拓展，去年将半导体业务整合落地无锡高新区。从“化工龙头”到“半导体新兵”，微特科正快速实现“跨界”融合。目前微特科的年产量达2000台套设备，已在光伏龙头隆基实现了批量交付，正在与北方华创等国产设备商深度对接。“上下游配套、政府支持、人才供给……无锡的集成电路产业生态扎实，能让我们跑得更快。”

　　中科金瓷的展位不大，但人气很足。展柜里摆着几块陶瓷圆片，表面平整得像镜面。企业创始人刘智谋介绍，这是静电吸盘（ESC），在刻蚀和薄膜沉积工艺中负责牢牢吸附晶圆并精确控温，目前国内这个领域的国产化率只有3%到5%。中科金瓷的底气，来自从粉体到成品的全链条自主能力——从原材料合成、粉料制作、精密成型、烧结到超高精度加工，全部自己掌控。

　　值得关注的是，中科金瓷的背后，藏着一个产业平台——无锡半导体装备与关键零部件创新中心（WEPC）。在该展台采访发现，这个展位可谓展会中最具战略意味的存在。它展示的不是单一企业、单一产品，而是一个“赋能”的平台模式。“我们聚焦国产自主关键零部件的原始创新，做半导体产业链的垂直整合。”WEPC项目总监丘志春介绍，该平台由无锡高新区与无锡市产业研究院携手半导体产业团队三方共建，采用“政府引导+产业赋能+资本加持”的创新模式，系统性打造从半导体设备关键零部件的国产技术预研到商业化落地的“0-1-10-100”全生命周期创新创业生态。

　　从“单点突破”到“平台赋能”，半导体国产化已进入体系化作战新阶段。WEPC成立一年，孵化引入10个项目，涵盖干法、湿法、光刻零部件等关键领域，总投资超亿元。丘志春说：“我们有一套严格的筛选标准——国产化率低于5%、没有陷入红海竞争、团队技术过硬，才进得来。”比如磁悬浮载台项目，这是几位东北大学博士的创新技术，WEPC引入后，提供资金、供应链渠道、客户资源，如今该产品已出货给国产PVD、CVD设备商，验证通过并获订单，“从‘一纸论文’到‘产线验证’，不到一年。”据透露，中科金瓷是WEPC正在考察的第11个项目，去年底企业与WEPC接洽后落户无锡高新区，仅用半年时间，产品已进入验证阶段，预计明年初，将在自主可控方面实现关键突破。

　　一场展会，看见了“中国芯”的硬核家底。作为集成电路产业高地，无锡高新区此次携81家企业组团亮相，参展数量占全市六成，向外界集中展示了自主可控“芯”力量。但参展从来不只是为了“展示”。“我们组织企业来参展，主要是陪企业来找客户、找订单、找合作伙伴。”负责牵头高新区展会的集成电路公司相关负责人表示，展会不仅成为检验招商服务成果的“阅兵场”，更是推动产业链上下游精准对接的“加速器”。

　　展会只有三天，交流还将继续深入，产业协同每天都在发生。有些合作，也许就在这一问一答之间，悄悄埋下了种子。

　　（杨明洁 文/钦嫣 摄）